VCP-basic ist die Steuerungssoftware für Qualitätsinspektionsmaschinen mit manuellem Mikroskop und Wafer-Handler.
Auszug aus der Funktionsliste:
SECS/GEM-Kompatibilität
Slot-Auswahl (manuell/Probe/automatisch durch Remote-Schnittstelle)
Manuelle Waferinspektion mit Joystick
Kompatibilität mit Messtool
Protokollierung des Inspektionsprozesses
VCP-control
Mikroskop-Inspektion mit Wafermapping
VCP-control ist die Steuerungssoftware für Qualitätsinspektionsmaschinen mit Wafermapping. In der Regel umfasst diese Lösung ein Mikroskop und einen Wafer-Handler.
Auszug aus der Funktionsliste:
SECS/GEM-Kompatibilität
Rezeptmanagement (Bediener/Ingenieur/Service)
Slot-Auswahl (manuell/Probe/automatisch durch Remote-Schnittstelle)
Wafermap-Laden mit Pass-/Fail-Informationen (erste/letzte Map)
Vorübergehende Mapspeicherung
Map-Upload ins Netzwerk (Ja/Nein/Bedienerentscheidung)
Move-to-chip-Befehl durch Map-Klick (Chip-Mitte/relative Position)
Step-Algorithmen der Chip-Position für halbautomatische Inspektionssequenzen
Von Bildanalysen unterstützte AOI-Skriptzuweisung in .setup
Erstellung einer Chargenzusammenfassung
VCP-inspect
SAM/EBIS-Steuerungssoftware mit Wafermapping
VCP-inspect ist die Steuerungssoftware für automatische Qualitätsinspektionsapplikationen mit Wafermapping. Bei Verbindung mit externer Hardware analysiert diese Lösung die empfangenen Bilddaten.
Auszug aus der Funktionsliste:
Wafermap-Laden mit Pass-/Fail-Informationen (erste/letzte Map)
Map-Upload ins Netzwerk (Ja/Nein)
Von Bildanalysen unterstützte AOI-Skriptzuweisung in .setup
Erstellung einer Chargenzusammenfassung
VCP-ink
VCP-ink ist die Steuerungssoftware für die Maschinenlösung SPA-Inker. Sie ist auch mit PIA-ink und der Frame-Inker-Hardware kompatibel.
Auszug aus der Funktionsliste:
Färbung und Nachfärbung von Dies gemäß Wafermap-Bincodes
