Softwaretools

Wir bieten verschiedene erstklassige Softwaretools für Ihre Forschungs-, Engineering- und Entwicklungsbereiche in der Halbleiter-Industrie. Die Tools dienen der effektiven Visualisierung, flexiblen Bearbeitung und schnellen Erstellung von Wafermap-Daten sowie der präzisen Quantifizierung und verständlichen Dokumentation von Artefakten oder Defekten. Zudem vereinfachen unsere Tools das Messen von Objekten in 2D-Bildern erheblich.

Kontaktieren Sie uns

Wie können wir Sie unterstützen?
Sprechen Sie uns an!

Wafer Map Editor

Unser Wafer Map Editor erlaubt die visuelle Anzeige und Bearbeitung von Wafermap-Daten. Das primäre kompatible Format ist WQL, das sich mit jedem verfügbaren Wafermap-Konvertierer erweitern lässt..

Funktionen umfassen:

  • Anzeige und Bearbeitung von Chipmerkmalen: Nicht getestet, getestet, Tintenkante, Skip
  • Anzeige und Bearbeitung von Bincodes
  • Anzeige und Bearbeitung von Referenz-Die-Koordinate(n)
  • Linienbearbeitung von Chips

Control Map Creator/Editor

Der Wafer Map Creator umfasst alle Funktionen des Wafer Map Editor. Zusätzlich ermöglicht er das Laden eines echten Waferbildes und seines transparenten Overlays, sodass ein entsprechendes Wafermap-Raster erstellt werden kann. Dieses Tool ist für die schnelle Wafermap-Erstellung anhand eines physischen Waferbildes gedacht.

Zusätzliche Funktionen umfassen:

  • Laden von BMP- und TIF-Bildformaten
  • Anpassbare Transparenz des Waferbildes
  • Anpassbare Skalierung des Rasters auf Waferbild
  • Flexible Kantenbereichsdefinition mit Ink and Skip
  • Maximiertes Chipbild auf Rasterkoordinaten

Measurement Tool

Das Measurement Tool dient als Metrologie-Applikation für manuelle Messungen auf 2D-Kamerabildern und kann als Einzelapplikation oder in eine Maschinensteuerungssoftware integriert verwendet werden..

Funktionen umfassen:

  • Lineare Distanzmessung
  • Bereichsmessung (Rechtecke, Kreise, Polygone)
  • Freitext-Kommentare
  • Standard-Textkommentare (z. B. für Benutzeranweisung und -information)
  • Flexible Farben- und Schriftgrößendefinitionen
  • Caliper CD Preset-Modul mit automatischen Kantenerkennungseinstellungen

Defect ReViewer

Der Defect ReViewer ist eine Anwendung zur Anzeige und Bearbeitung von KLA Result Files. Er wird in der Regel als Einzelapplikation zur Anzeige der Defektbilder im KLA Result File verwendet und kann optional mit dem Funktionsumfang des Measurement Tools kombiniert werden.

Funktionen umfassen:

  • Laden von strukturierten und unstrukturierten KLA Result File-Daten
  • Anzeige von Defektbilddaten
  • Modifizierung von implizierten Fehlerklassen
  • Option: integriertes Measurement Tool

MIDOS

Manufacturing Information Documentation and Schooling Die Hauptaufgabe von MIDOS ist die digitale Dokumentation von Defekten und unklaren wesentlichen Problemen bei der Sichtinspektion von Halbleitergeräten.

Funktionen umfassen:

  • Datenbankverbindung (Oracle)
  • Verschiedene Benutzergruppen mit unterschiedlichen Berechtigungen
  • Visualisierung des Defektkatalogs (für Schulungen)
  • Konfiguration des Defektkatalogs durch Administrator
  • Prozessspezifische Vorauswahl von Defektklassen
  • Prozessspezifische Aufzeichnung von wesentlichen Problemen
  • Nutzung der Defektklassifizierung als Prozessauslöser (zur Vorstellung beim Ingenieur)
  • Konfiguration der Defektklassen durch Administrator
  • Start von MIDOS über Link-Schaltfläche in Maschinensoftware (z. B. VCP)
  • Start von MIDOS als Einzelapplikation für Engineering/Administration
  • SPEZIAL: Verwendung von Drive-In-Modus für Wechsel zu Chipdefekt in Gerät

Sofort-Kontakt

slideoutcontact
Sie erhalten eine Kopie Ihrer Anfrage in Ihrem Posteingang
Bitte die mit * gekennzeichneten Felder ausfüllen.
Durch Angabe meiner E-Mail-Adresse und Anklicken des Buttons „Senden“ akzeptiere ich die Datenschutzbestimmungen.
captcha

PVA SPA Software Entwicklungs GmbH
Seifartshofstraße 12-14
96450 Coburg, Germany

Phone: +49 (0) 9561 7947-0

Produktinformationen anfordern

Produktinfos EN
Bitte füllen Sie alle Formularfelder aus und wählen Sie das Produkt, zu welchem Sie Informationen anfordern möchten. Das Produktdatenblatt wird Ihnen anschließend per Mail zugesandt. Bitte haben Sie Verständnis dafür, dass wir aus Gründen des Ressourcenschutzes keine Print-Materialien versenden.
Bitte die mit * gekennzeichneten Felder ausfüllen.
Durch Angabe meiner E-Mail-Adresse und Anklicken des Buttons „Anfrage senden“ akzeptiere ich die Datenschutzbestimmungen.

Ich bin mir bewusst, dass bei einer Kontaktaufnahme über dieses Kontaktformular eine Speicherung meiner Daten zur weiteren Bearbeitung meiner Anfrage sowie für den Fall späterer Rückfragen erfolgt.