LuXpector THEA Keine Rückseitenreflexion (SiC) Zuverlässige Dünnschichtanalyse auf SiC-Wafern durch Eliminierung von Fehlern, die durch Rückseitenreflexion entstehen. …
Vorteile in der Übersicht: Hoher Durchsatz Bis zu 160 Wafer pro Stunde durch automatisiertes Handling für maximale Produktivität. Flexible Integration Ideal für Forschung und Entwicklung…
Keine Rückseitenreflexion (SiC) Zuverlässige Dünnschichtanalyse auf SiC-Wafern durch Eliminierung von Fehlern, die durch Rückseitenreflexion entstehen. AlGaN-Konzentrationsbestimmung mittels…
Hochpräzise Ellipsometrie-Analyse LuXpector THEA (Werkzeug für hochpräzise Ellipsometrie-Analyse) vereint Ellipsometrie und Reflektometrie in einem kompakten, kosteneffizienten und schnellen System…
Zunehmende Bedeutung der Elektronik- und Halbleiterindustrie Die vergangenen Jahre haben gezeigt, dass durch den Ausbau von erneuerbaren Energien und Elektromobilität die Elektronik- und…
Ihre Zufriedenheit steht bei uns an erster Stelle. Daher freuen wir uns über Ihr Feedback:Individuelle Lösungen Der Schlüssel zum Erfolg in einem kundenorientierten Unternehmen ist die…
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SPA-Inker Automatische Wafer- oder RahmenladungOptionen SPA-Inker: Kompatibilität mit gerahmten Wafer bis zu 200 mm SECS/GEM-kompatible Schnittstelle Wafer Scales (WS) Automatische…