Datenblatt PVA Data Gateway zum Download:Maschinen Anbindung über OPC/UA Schnittstelle SECS via OPC/UA Anbindung Support via Siemens S7 1500er-Reihe GEM300 vordefinierte…
Anwendung UL200-Waferloader Der UL200 ist ein kompaktes Tischsystem mit geringem Platzbedarf zur schnellen automatischen Beladung von Wafern mit bis zu 200 mm Durchmesser auf ein wahlweise von uns…
UL200-Optionen: Schräglichtinspektion von Makrodefekten auf Vorder- und Rückseite von Wafern Flat-/Notch-Ausrichtungssensoren für transparente Wafer Handling von dünnen Wafern und Wafern mit…
Vorteile: Wafertyp-spezifische und dynamische Wafer-Erkennung zur sicheren automatischen Beladung aus der Kassette Unterstützte Wafergrößen von 100-150 mm oder 150-200 mm Wafer …
Vorteile: Zero-Click-Start für minimale Bedienerinteraktion Automatische optische makroskopische Inspektion Gleichzeitiger Vorder- und Rückseiten Scan Wafer Größen von 200 bis 300 mm …
Enhanced Backside Inspection System Der LuXpector EBIS (Enhanced Backside Inspection System) nutzt zwei hochauflösende CIS-Scanzeilen, um gleichzeitig Bilder von der Vorder- und Rückseite der Wafer…
Enhanced Optical System Der LuXpector EOS (Enhanced Optical System) nutzt hochpräzise Optiken mit einem sehr schnellen Autofokus, um Wafer bis zu einer Größe von 300 mm schnell und zuverlässig zu…
