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  • 1. Maschinenanbindung  
    Maschinen Anbindung über OPC/UA Schnittstelle SECS via OPC/UA Anbindung Support via Siemens S7 1500er-Reihe   GEM300 vordefinierte Datenbausteine (OPC/UA) : E40, E87,…  
  • 2. Maschinenanbindung - Wir unterstützen die folgenden GEM300-Standards:  
    Wir unterstützen die folgenden GEM300-Standards: SEMI E4-SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer SEMI E5-SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content SEMI…  
  • 3. Maschinenanbindung - Maschinen Anbindung über OPC/UA Schnittstelle  
    Maschinen Anbindung über OPC/UA Schnittstelle SECS via OPC/UA Anbindung Support via Siemens S7 1500er-Reihe   GEM300 vordefinierte Datenbausteine (OPC/UA) : E40, E87,…  
  • 4. Optische Inspektion  
    MIx-Optionen: Software-Add-on für Metrologie 3D-Oberflächenmesstechnik Infrarot-InspektionstechnikEBIS-Optionen: auch als Einzelsystem oder in Geräteumgebung von Drittanbietern integriert…  
  • 5. Optische Inspektion - Anwendung  
    Anwendung EBIS synchronisiert auf einer Wafer-Rückseite befindliche optische Defekte mit der Vorderseiten-Chipstruktur. Vermeiden Sie eine überdimensionierte Klassifizierung von Fehlerbereichen und…  
  • 6. Optische Inspektion - BTx-Optionen:  
    BTx-Optionen: Software-Add-on für Metrologie Automatische Beladung von Frames (Wafer auf Bluetape) Infrarot-Inspektionstechnik Wafer Rand-Handling (5mm) SECS/GEM-kompatible Schnittstelle…  
  • 7. Optische Inspektion - Hauptvorteile:  
    Hauptvorteile: Automatisches Laden von 200-300 mm Wafers und/oder Frames mithilfe eines Roboter-Handlers Mikroskop mit Fernbedienungsschnittstelle und Laser-Autofokus Inspektion auf…  
  • 8. Optische Inspektion - Anwendung Mikroskope mit Universalloader  
    Anwendung Mikroskope mit Universalloader Automatisches oder manuelles Mikroskop zur Inspektion von Wafers bis zu 12", die mithilfe eines Roboter-Handlers automatisch aus offenen- oder geschlossenen…  
  • 9. Optische Inspektion - BridgeTools (BTx)  
    BridgeTools (BTx) Automatische Wafer- oder Rahmenladung  
  • 10. Optische Inspektion - ULx-Optionen:  
    ULx-Optionen: Software-Add-on für Metrologie Kompatibilität mit 8"-Frame-Kassette Kompatibilität mit SMIF-Wafer-Kassette Gehäuse mit Reinluft-Flowbox Infrarot-Inspektionstechnik …  

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