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  • 1. Optische Inspektion  
    LuXpector THEA Keine Rückseitenreflexion (SiC) Zuverlässige Dünnschichtanalyse auf SiC-Wafern durch Eliminierung von Fehlern, die durch Rückseitenreflexion entstehen. …  
  • 2. Optische Inspektion - Vorteile in der Übersicht:  
    Vorteile in der Übersicht: Hoher Durchsatz Bis zu 160 Wafer pro Stunde durch automatisiertes Handling für maximale Produktivität. Flexible Integration Ideal für Forschung und Entwicklung…  
  • 3. Optische Inspektion  
    Keine Rückseitenreflexion (SiC) Zuverlässige Dünnschichtanalyse auf SiC-Wafern durch Eliminierung von Fehlern, die durch Rückseitenreflexion entstehen. AlGaN-Konzentrationsbestimmung mittels…  
  • 4. Optische Inspektion - Hochpräzise Ellipsometrie-Analyse  
    Hochpräzise Ellipsometrie-Analyse LuXpector THEA (Werkzeug für hochpräzise Ellipsometrie-Analyse) vereint Ellipsometrie und Reflektometrie in einem kompakten, kosteneffizienten und schnellen System…  
  • 5. Optische Inspektion - LuXpector THEA  
    LuXpector THEA  
  • 6. Zertifizierung  
    ZertifizierungHier können Sie das aktuelle Dokument zur Zertifizierung nach ISO 9001:2015 herunterladen.  
  • 7. Entwicklung von Schnittstellen in der Halbleiterindustrie  
    Zunehmende Bedeutung der Elektronik- und Halbleiterindustrie Die vergangenen Jahre haben gezeigt, dass durch den Ausbau von erneuerbaren Energien und Elektromobilität die Elektronik- und…  
  • 8. Service  
    Ihre Zufriedenheit steht bei uns an erster Stelle. Daher freuen wir uns über Ihr Feedback:Individuelle Lösungen Der Schlüssel zum Erfolg in einem kundenorientierten Unternehmen ist die…  
  • 9. Aktuelles, Termine und Messen  
    Aktuelles News Wer die Technologien von morgen entwickelt, hat ständig Neues zu berichten. Finden Sie hier alle News und Veröffentlichungen und bleiben Sie mit uns auf dem neuesten Stand.Termine…  
  • 10. Speziallösungen  
    SPA-Inker Automatische Wafer- oder RahmenladungOptionen SPA-Inker: Kompatibilität mit gerahmten Wafer bis zu 200 mm SECS/GEM-kompatible Schnittstelle Wafer Scales (WS) Automatische…  

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