Kundenspezifische Maschinen und Automatisierung

PVA TePla SPA bietet ihren Kunden vollständig kundenspezifische Hardware-, Software-, Automatisierungs- und Herstellungslösungen. Unsere Fachkenntnisse und Lösungen sind bei Halbleitergeräten der Spitzenklasse in Fabriken weltweit in den Bereichen optische Inspektion, Mikroskopie, Ultraschallrastermikroskopie, Wafermapping, Bildanalyse, Waferprobing, Waferhandling und Fabrikautomatisierung im Einsatz.

Der überwiegende Teil unserer Maschinenlösungen umfasst:

  • eine VCP-Benutzerschnittstelle mit schneller Einstellungseinrichtung für Automatisierung
  • einen intelligenten und modularen Waferinspektions-Workflow
  • Fachgerechtes Map-Networking mit SPA

Unsere Maschinenlösungen

compact handling solutions for loading wafers
 
specialized solutions
 
control software
 
inspection capabilities
 
interfacing solutions for allowing connectivity of machines with the SECS/GEM standard protocol language
 

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PVA SPA Software Entwicklungs GmbH
Seifartshofstraße 12-14
96450 Coburg, Germany

Phone: +49 (0) 9561 7947-0

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