Schnittstellen

Die Produkte von SPA unterstützen hochkompatible Schnittstellen für die leistungsfähige Kommunikation zwischen Geräten im Probingbereich und ihren Managementinstanzen. PVA SPA bietet leistungsstarke Einzellösungen und intelligente integrierte Lösungen zur Anpassung der Geräte an ein entsprechendes Netzwerk. Unsere Kernkompetenz liegt auf den Protokollen SECS/GEM und SECS/GEM300. Diese stellen eine reibungslose Verarbeitung aller Wafer-Durchmesser von 2" bis 12" und anderer beispielsweise Tray-basierter Materialien sowie die Breitbandkommunikation und zuverlässige Konvertierung von Produktionsdaten sicher.

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SECS/GEM-Standard

SECS/GEM ist das Schnittstellenprotokoll für Halbleitergeräte zur Gerät-zu-Host-Datenkommunikation, die einen Aspekt des Industry 4.0-Trends darstellt. Als Minimum umfasst die GEM-Schnittstelle erforderliche Datenvariablen, Statusvariablen, Gerätekonstanten und Erfassungsereignisse. Der Wert aller GEM-Schnittstellen wird durch zusätzliche maschinenspezifische Alarme, Datenvariablen, Statusvariablen, Gerätekonstanten und Erfassungsereignisse erhöht. Dazu zählen SECS-II-Nachrichten (E5), GEM (E30) und entweder der HSMS(E37)- oder der RS-232(E4)-Transportprotokollstandard.

Setzen Sie sich mit uns Verbindung, wenn Sie mehr darüber erfahren möchten, wie wir Ihre Nicht-300-mm-Geräte mit einem SECS/GEM-Schnittstellenprotokoll verbinden können.

SECS/GEM300

Die Einführung von 300 mm Wafers schuf – zusammen mit dem Bedarf an Lösungen, die eine wesentlich stärkere Automatisierung im Rahmen von Industry 4.0 ermöglichen, – ganz neue Herausforderungen. SEMI entwickelte die GEM300-Standards zur Lösung dieser Herausforderungen.

Hauptvorteile:

  • Leistungsüberwachung
  • Rezeptmanagement
  • Chargenmanagement
  • SPC-Analyse
  • Asset-Management
  • Konfigurationsmanagement
  • SECS-/GEM-Host-Lösungen
  • Carrier Management
  • Substratnachverfolgung
  • Prozess- und Steuerungsaufgabenmanagement

Wir unterstützen die folgenden GEM300-Standards:

  • SEMI E4-SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer
  • SEMI E5-SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content
  • SEMI E30-Generic Model for Communication and Control of SEMI Equipment
  • SEMI E37-High Speed Message Service - Single Session
  • SEMI E39-Object Services Standard SEMI E40-Standard for Processing Management
  • SEMI E42-Standard for SECS-II Protocol for Recipe Management Standard
  • SEMI E53-Event Reporting
  • SEMI E84-Specification for enhanced carrier Handoff Parallel I/O Interface
  • SEMI E87-Specification for Carrier Management
  • SEMI E90-Specification for Substrate Tracking
  • SEMI E94-Specification for SECS-II Protocol for Control Job Management
  • E116 Equipment Performance Tracking (EPT)
  • E120 Specification for the Common Equipment Model (CEM)
  • E142 Substrate Mapping
  • G84 Specification for Strip Map Protocol
  • G85 Specification for Map Data Format

Wafermap-Konvertierer

Ein Wafermap-Konvertierer dient als Schnittstellenumsetzer zwischen verschiedenen Maschinenmarken. Wir unterstützen die folgenden Wafermap-Formate:

  • Kundenspezifisch (z. B. UWM, E142, ALS, MSEB, IBIS-XML, COW)
  • EG
  • G85
  • KLA Result File
  • STDF
  • TEL
  • TI
  • TSK-Accretech
  • WQL

Kundenspezifische Schnittstellen zu CAM-/Werkstattsystemen

Mehrere Verbindungen verschiedener Maschinen oder Applikationen zu verschiedenen Managementsystemen

  • SECS- und kundenspezifische MES-Verbindungen
  • Anzeige und Management des Werkstattstatus
  • Statistiken zur Maschinennutzbarkeit

Setzen Sie sich mit uns Verbindung, wenn Sie mehr darüber erfahren möchten, wie wir Ihre Geräte mit Ihrem Werkstattsystem verbinden können.

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PVA SPA Software Entwicklungs GmbH
Seifartshofstraße 12-14
96450 Coburg, Germany

Phone: +49 (0) 9561 7947-0

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