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Tisch-PIA / Wafer/Rahmen bis zu 12"

Manuelle Wafer- oder Rahmenladung

Zweck

Der Tisch-PIA ist ein Einzelsystem, das ursprünglich zum Upgrade vorhandener Waferprober (z. B. Accretech UF200A) mit optischen Inspektionsapplikationen wie der Inkerfunktion von SPA entwickelt wurde. Ein Verwendungszweck ist die physische Färbung von manuell geladenen Wafers/Rahmen mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm mit einer anschließenden schnellen automatischen Sichtinspektion aller Tintenpunkte und einem geschlossenen Nachfärbezyklus (PIA-Ink). Eine weitere Anwendungsmöglichkeit ist die optische Inspektion von Backend-Halbleiterprodukten mit den verfügbaren Inspektionsfunktionen von PVA SPA (PIA-aoi).

Mounting Verification Tool (MVT300) / Rahmen bis zu 12"

Automatische Wafer- oder Rahmenladung

Zweck

Der MVT300 dient sowohl vor als auch nach der Sägung als umfassendes Qualitätsverifizierungstool für den Montageprozess von Wafers auf Rahmen. Er kann optional mit einem industriellen Kennzeichnungssystem ausgestattet werden.

Hauptvorteile:

  • 100 % Übereinstimmung zwischen Wafer-ID (OCR/DMC) und Barcode-Kennzeichnung auf dem Rahmen (BCR)
  • Lesen von Wafer-IDs und Rahmenkennzeichnungen in jeder Position und Ausrichtung (360°)
  • Messung der Montagequalität von Bare Wafers und gerahmten und geschnittenen Wafers
  • Messung der xy-Ausdehnung von Wafers nach dem Schneidprozess

MVT300-Optionen:

  • Integrierter Prozess zur Rahmenkennzeichnung
  • Archivierung physischer Waferbilder
  • Automatische Erstellung digitaler Wafermaps
  • SECS/GEM-kompatible Schnittstelle (GEM200, GEM300)

Prober Inspection Addon (PIA) / Wafer/Rahmen bis zu 8"

Automatische Wafer- oder Rahmenladung

Zweck

Automatische Sichtinspektion von Wafers/Rahmen bis zu 8", die automatisch von einem externen Handler (z. B. elektrischer Testprober) aus offenen Kassetten auf den motorisierten Kreuztisch geladen werden. Ein Verwendungszweck ist die physische Färbung von manuell geladenen Wafers/Rahmen mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm mit einer anschließenden schnellen automatischen Sichtinspektion aller Tintenpunkte und einem geschlossenen Nachfärbezyklus (PIA-Ink). Eine weitere Anwendungsmöglichkeit ist die optische Inspektion von Backend-Halbleiterprodukten mit den verfügbaren Inspektionsfunktionen von PVA SPA (PIA-aoi).

Hauptvorteile:

  • Steuerung des Probers mittels GPIB-Protokoll
  • PIA ersetzt Prober-Kopfplatte
  • Gewicht inkl. PIA-Kopfplatte ca. 80 kg
  • Kopfplatten 600 mm, 640 mm, 680 mm oder kundenspezifisch
  • Automatisches Öffnen/Schließen der Kopfplattenöffnung
  • Motorisiertes PIA-Kippsystem

SPA-Inker / Wafer bis zu 8"

Automatische Wafer- oder Rahmenladung

Zweck

Der SPA-Inker ist eine vollautomatische Maschine für die physische Färbung von Wafers mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm mit einer anschließenden automatischen Sichtinspektion aller Tintenpunkte und einem geschlossenen Nachfärbezyklus.

Hauptvorteile:

  • Tintenpunkt-Durchmesser 130 µm–900 µm
  • Tintenpunkt-Platzierung max. 8,9 Punkte/Sekunde
  • Umfassende Qualitätssicherung der Tintenpunkte
  • Tintenspritzererkennung auf guten Dies
  • Automatisches Nachfärben von Tintenpunktfehlern
  • Waferspezifische RGB-LED-Beleuchtung
  • Archivierung des vollständig gefärbten Waferbildes
  • Aufstellfläche [mm] 1650 × 900

Optionen SPA-Inker:

  • Kompatibilität mit gerahmten Wafers bis zu 200 mm
  • SECS/GEM-kompatible Schnittstelle

Wafer Scales (WS) / Wafer bis zu 12"

Automatische Wafer- oder Rahmenladung

Zweck

Unsere vollautomatischen Waferwaagen (WS200 und WS300) sind für die Dickenmessung von Frontend-Materialbeschichtungen auf entweder der Vorder- oder insbesondere der Rückseite von Bare Wafers aufgelegt. WSx-Grundversionen

Hauptvorteile:

  • Hochpräzise Waferwaage (0,1 mg Res)
  • Dickenmessung der Waferbeschichtung
  • Automatisches Laden von 150 mm, 200 mm oder 300 mm Wafers
  • Aufstellfläche [mm] 985 × 830 oder 2015 × 1685

Optionen Waferwaage:

  • SECS/GEM-Messkontrolle
  • SECS/GEM-Schnittstelle (unterstützt GEM200, GEM300)
  • Handling von TAIKO- und dünnen Wafers

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PVA SPA Software Entwicklungs GmbH
Seifartshofstraße 12-14
96450 Coburg, Germany

Phone: +49 (0) 9561 7947-0

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