Mikroskop-Inspektion (MIx-Modelle) / Wafer/Frames bis zu 12"
Manuelle Wafer- oder Frameladung
Anwendung Mikroskop-Inspektion
Automatisches oder manuelles Mikroskop zur Inspektion von Wafer mit einem Durchmesser bis zu 12", die manuell auf einen motorisierten Kreuztisch geladen werden.
UL200-Waferloader
Automatische Wafer- oder Frameladung
Anwendung UL200-Waferloader
Der UL200 ist ein kompaktes und schnelles Tischsystem zur automatischen Waferbeladung von Waferscheiben mit bis zu 200mm Durchmesser. Für kundenspezifischen Anforderungen stehen wir mit unserer Beratung zur Verfügung.
Mikroskope mit Universalloader (UL20x-Modelle) / Wafer/Frame 8"
Automatische Wafer- oder Frameladung
Anwendung Mikroskope mit Universalloader
Automatische oder manuelle optische Mikroskop Inspektion von Wafern bis zu 200mm, die mit dem UL200 Wafer Loader automatisch aus Kassetten auf einen motorisierten oder manuellen xy-Tisch geladen werden.
BridgeTools (BTx) / Wafer/Frames bis zu 12"
Automatische Wafer- oder Rahmenladung
Anwendung
Automatisches oder manuelles Mikroskop zur Inspektion von Wafers bis zu 12", die mithilfe eines Roboter-Handlers automatisch aus offenen oder FOUP-Kassetten auf einen motorisierten Kreuztisch geladen werden
Enhanced Backside Inspection System (EBIS, erweitertes System zur Inspektion der Rückseite) / Wafer bis zu 8"
Automatische Wafer- oder Rahmenladung
Anwendung
EBIS synchronisiert auf einer Wafer-Rückseite befindliche optische Defekte mit der Vorderseiten-Chipstruktur. Vermeiden Sie eine überdimensionierte Klassifizierung von Fehlerbereichen und optimieren Sie Ihre Ausbeute durch präzise automatische Erkennung oder manuelle Markierung ausschließlich der betroffenen Ausschuss-Chips!
„Wir machen Ihre Wafers transparent“