Mikroskop-Inspektion (MIx-Modelle) / Wafer/Rahmen bis zu 12"
Manuelle Wafer- oder Rahmenladung
Zweck
Automatisches oder manuelles Mikroskop zur Inspektion von Wafers mit einem Durchmesser bis zu 12", die manuell auf einen motorisierten Kreuztisch geladen werden
UL200-Waferlader
Automatische Wafer- oder Rahmenladung
Zweck
Der UL200 ist ein kompaktes und schnelles Tischsystem zur Waferladung für Bare Wafers bis zu 8" mit kundenspezifischen Anforderungen.
Mikroskope mit Universallader (UL20x-Modelle) / Wafer/Rahmen 12"
Automatische Wafer- oder Rahmenladung
Zweck
Automatisches oder manuelles Mikroskop zur Inspektion von Wafers bis zu 200 mm, die automatisch vom UL200 oder UL200F aus Kassetten auf einen motorisierten Kreuztisch geladen werden.
BridgeTools (BTx) / Wafer/Rahmen bis zu 12"
Automatische Wafer- oder Rahmenladung
Zweck
Automatisches oder manuelles Mikroskop zur Inspektion von Wafers bis zu 12", die mithilfe eines Roboter-Handlers automatisch aus offenen oder FOUP-Kassetten auf einen motorisierten Kreuztisch geladen werden
Enhanced Backside Inspection System (EBIS, erweitertes System zur Inspektion der Rückseite) / Wafer bis zu 8"
Automatische Wafer- oder Rahmenladung
Zweck
EBIS synchronisiert auf einer Wafer-Rückseite befindliche optische Defekte mit der Vorderseitenstruktur des Chips. Vermeiden Sie eine überdimensionierte Klassifizierung von Fehlerbereichen und optimieren Sie Ihre Ausbeute durch präzise automatische Erkennung oder manuelle Markierung ausschließlich der betroffenen Ausschuss-Chips!
„Wir machen Ihre Wafers transparent“