Steuerungssoftware

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VCP-basic

Mikroskop-Inspektion ohne Wafermapping

VCP-basic ist die Steuerungssoftware für Qualitätsinspektionsmaschinen mit manuellem Mikroskop und Wafer-Handler.

Auszug aus der Funktionsliste:

  • SECS/GEM-Kompatibilität
  • Slot-Auswahl (manuell/Probe/automatisch durch Remote-Schnittstelle)
  • Manuelle Waferinspektion mit Joystick
  • Kompatibilität mit Messtool
  • Protokollierung des Inspektionsprozesses

VCP-control

Mikroskop-Inspektion mit Wafermapping

VCP-control ist die Steuerungssoftware für Qualitätsinspektionsmaschinen mit Wafermapping. In der Regel umfasst diese Lösung ein Mikroskop und einen Wafer-Handler.

Auszug aus der Funktionsliste:

  • SECS/GEM-Kompatibilität
  • Rezeptmanagement (Bediener/Ingenieur/Service)
  • Slot-Auswahl (manuell/Probe/automatisch durch Remote-Schnittstelle)
  • Wafermap-Laden mit Pass-/Fail-Informationen (erste/letzte Map)
  • Vorübergehende Mapspeicherung
  • Map-Upload ins Netzwerk (Ja/Nein/Bedienerentscheidung)
  • Move-to-chip-Befehl durch Map-Klick (Chip-Mitte/relative Position)
  • Step-Algorithmen der Chip-Position für halbautomatische Inspektionssequenzen
  • Von Bildanalysen unterstützte AOI-Skriptzuweisung in .setup
  • Erstellung einer Chargenzusammenfassung

VCP-inspect

SAM/EBIS-Steuerungssoftware mit Wafermapping

VCP-inspect ist die Steuerungssoftware für automatische Qualitätsinspektionsapplikationen mit Wafermapping. Bei Verbindung mit externer Hardware analysiert diese Lösung die empfangenen Bilddaten.

Auszug aus der Funktionsliste:

  • Wafermap-Laden mit Pass-/Fail-Informationen (erste/letzte Map)
  • Map-Upload ins Netzwerk (Ja/Nein)
  • Von Bildanalysen unterstützte AOI-Skriptzuweisung in .setup
  • Erstellung einer Chargenzusammenfassung

VCP-ink

VCP-ink ist die Steuerungssoftware für die Maschinenlösung SPA-Inker. Sie ist auch mit PIA-ink und der Frame-Inker-Hardware kompatibel.

Auszug aus der Funktionsliste:

  • Färbung und Nachfärbung von Dies gemäß Wafermap-Bincodes
  • Dezentrierte Die-Färbung
  • Limitsteuerung Inker-Partone (Punktmenge, Zeitdauer)
  • Steuerung der Inker-Patronenart mittels Produkteinrichtung und automatischer Erkennung
  • Tintenpunkt-Inspektionseinstellungen (Größe, Position, Umriss)
  • Erkennung von Tinte auf Pass-Chip (>50 µm)
  • Individuelle Inspektionsparameter für Rand-Dies und aktive Flächen

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96450 Coburg, Germany

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