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Steuerungssoftware
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VCP-basic
Mikroskop-Inspektion ohne Wafermapping
VCP-basic ist die Steuerungssoftware für Qualitätsinspektionsmaschinen mit manuellem Mikroskop und Wafer-Handler.
Auszug aus der Funktionsliste:
- SECS/GEM-Kompatibilität
- Slot-Auswahl (manuell/Probe/automatisch durch Remote-Schnittstelle)
- Manuelle Waferinspektion mit Joystick
- Kompatibilität mit Messtool
- Protokollierung des Inspektionsprozesses
VCP-control
Mikroskop-Inspektion mit Wafermapping
VCP-control ist die Steuerungssoftware für Qualitätsinspektionsmaschinen mit Wafermapping. In der Regel umfasst diese Lösung ein Mikroskop, einen motorischen Tisch mit Waferaufnahme und einen Wafer-Handler.
Auszug aus der Funktionsliste:
- SECS/GEM-Kompatibilität
- Rezeptmanagement (Bediener/Ingenieur/Service)
- Slot-Auswahl (manuell/Probe/automatisch durch Remote-Schnittstelle)
- Wafermap-Laden mit Pass-/Fail-Informationen (erste/letzte Map)
- Manuelle / automatische Waferausrichtung
- Vorübergehende Mapspeicherung
- Map-Upload ins Netzwerk (Ja/Nein/Bedienerentscheidung)
- Move-to-chip-Befehl durch Map-Klick (Chip-Mitte/relative Position)
- Step-Algorithmen der Chip-Position für halbautomatische Inspektionssequenzen
- Von Bildanalysen unterstützte AOI-Skriptzuweisung in .setup
- Erstellung einer Chargenzusammenfassung
VCP-inspect
SAM/EBIS-Steuerungssoftware mit Wafermapping
VCP-inspect ist die Steuerungssoftware für automatische Qualitätsinspektionsapplikationen mit Wafermapping. Bei Verbindung mit externer Hardware analysiert diese Lösung die empfangenen Bilddaten.
Auszug aus der Funktionsliste:
- Wafermap-Laden mit Pass-/Fail-Informationen (erste/letzte Map)
- Map-Upload ins Netzwerk (Ja/Nein)
- Von Bildanalysen unterstützte AOI-Skriptzuweisung in .setup
- Erstellung einer Chargenzusammenfassung
VCP-ink
VCP-ink ist die Steuerungssoftware für die Maschinenlösung SPA-Inker. Sie ist auch mit PIA-ink und der Frame-Inker-Hardware kompatibel.
Auszug aus der Funktionsliste:
- Färbung und Nachfärbung von Dies gemäß Wafermap-Bincodes
- Dezentrierte Die-Färbung
- Limitsteuerung Inker-Partone (Punktmenge, Zeitdauer)
- Steuerung der Inker-Patronenart mittels Produkteinrichtung und automatischer Erkennung
- Tintenpunkt-Inspektionseinstellungen (Größe, Position, Umriss)
- Erkennung von Tinte auf Pass-Chip (>50 µm)
- Individuelle Inspektionsparameter für Rand-Dies und aktive Flächen