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Steuerungssoftware
Die reibungslose Steuerung von Maschinen und deren Prozessabläufen ist für uns von größter Bedeutung - gerade in den immer schneller werdenden Branchen der Halbleiterindustrie und des Maschinenbaus bedeutet jeder Zeitverlust auch einen Verlust an Durchsatz. Um diese Verluste zu minimieren, bieten wir mit unseren Steuerungssoftware-Varianten umfassende Werkzeuge, die Abläufe optimieren und eine feingranulare Einstellbarkeit aller wichtigen Parameter ermöglichen. In diesem Zusammenhang legen wir auch großen Wert auf ein Berechtigungsmanagement, das unterschiedlichen Nutzergruppen wie Prozessingenieuren, Servicetechnikern oder Bedienern auf ihren jeweiligen Aufgabenbereich zugeschnittene Berechtigungen einräumt, mit denen auch nur die Aufgaben ausgeführt werden können, für die die jeweilige Nutzergruppe freigegeben ist. Individuelle Anpassungen der Steuerungssoftware an die Bedürfnisse innerhalb Ihrer Fab sind optional möglich und können Sie auf dem Weg zu einem optimierten Prozessablauf unterstützen, um bestmögliche Ergebnisse und Durchsätze zu ermöglichen.
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VCP-basic

Mikroskop-Inspektion ohne Wafermapping
VCP-basic ist die Steuerungssoftware für Qualitätsinspektionsmaschinen mit manuellem Mikroskop und Wafer-Handler.
Auszug aus der Funktionsliste:
- SECS/GEM-Kompatibilität
- Slot-Auswahl (manuell/Probe/automatisch durch Remote-Schnittstelle)
- Manuelle Waferinspektion mit Joystick
- Kompatibilität mit Messtool
- Protokollierung des Inspektionsprozesses
VCP-control

Mikroskop-Inspektion mit Wafermapping
VCP-control ist die Steuerungssoftware für Qualitätsinspektionsmaschinen mit Wafermapping. In der Regel umfasst diese Lösung ein Mikroskop, einen motorischen Tisch mit Waferaufnahme und einen Wafer-Handler.
Auszug aus der Funktionsliste:
- SECS/GEM-Kompatibilität
- Rezeptmanagement (Bediener/Ingenieur/Service)
- Slot-Auswahl (manuell/Probe/automatisch durch Remote-Schnittstelle)
- Wafermap-Laden mit Pass-/Fail-Informationen (erste/letzte Map)
- Manuelle / automatische Waferausrichtung
- Vorübergehende Mapspeicherung
- Map-Upload ins Netzwerk (Ja/Nein/Bedienerentscheidung)
- Move-to-chip-Befehl durch Map-Klick (Chip-Mitte/relative Position)
- Step-Algorithmen der Chip-Position für halbautomatische Inspektionssequenzen
- Von Bildanalysen unterstützte AOI-Skriptzuweisung in .setup
- Erstellung einer Chargenzusammenfassung
VCP-inspect

SAM/EBIS-Steuerungssoftware mit Wafermapping
VCP-inspect ist die Steuerungssoftware für automatische Qualitätsinspektionsapplikationen mit Wafermapping. Bei Verbindung mit externer Hardware analysiert diese Lösung die empfangenen Bilddaten.
Auszug aus der Funktionsliste:
- Wafermap-Laden mit Pass-/Fail-Informationen (erste/letzte Map)
- Map-Upload ins Netzwerk (Ja/Nein)
- Von Bildanalysen unterstützte AOI-Skriptzuweisung in .setup
- Erstellung einer Chargenzusammenfassung
VCP-ink

VCP-ink ist die Steuerungssoftware für die Maschinenlösung SPA-Inker. Sie ist auch mit PIA-ink und der Frame-Inker-Hardware kompatibel.
Auszug aus der Funktionsliste:
- Färbung und Nachfärbung von Dies gemäß Wafermap-Bincodes
- Dezentrierte Die-Färbung
- Limitsteuerung Inker-Partone (Punktmenge, Zeitdauer)
- Steuerung der Inker-Patronenart mittels Produkteinrichtung und automatischer Erkennung
- Tintenpunkt-Inspektionseinstellungen (Größe, Position, Umriss)
- Erkennung von Tinte auf Pass-Chip (>50 µm)
- Individuelle Inspektionsparameter für Rand-Dies und aktive Flächen